製品概要
- 本装置は、抵抗加熱式蒸発源を使用して金属材料を蒸発させ、基板上に薄膜を形成するための真空蒸着装置です。
- 装置はバッチ式で、自転式治具を搭載し、付き回りの良い成膜を行います。
- 膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。
- 操作制御系は全自動式になっています。
- 用途に応じて、自転式以外にドーム式や自公転式への対応も可能です。
- ローコストでリーズナブルに研究開発・小ロット生産をスタートさせることが可能です。
- ロードロック式へのカスタマイズも可能です。
特長
- 全自動式による容易な操作性
- 研究開発用から少量生産に最適
- 真空槽はメンテナンス性が高いフロントドアータイプ
- 操作制御系一体型によるコンパクトなデザイン
仕様
| SEC-06D/08C | |
|---|---|
| 到達圧力 | 10-4Pa台 |
| 排気速度 | 大気圧より6.7×10-3Pa迄20分以内 |
| 基板加熱 | MAX150℃ |
| 基板回転 | 2～14rpm |
| 蒸発源系 | 抵抗加熱式蒸発源 4式、切替式（蒸発電源2台） |
| 排気系 | 拡散ポンプ、油回転ポンプ （SEC-06D） クライオポンプ、ドライポンプ （SEC-08C） |
| 真空槽 | W500㎜×D500㎜×H600㎜ |
| フットプリント | W1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm |
| 装置重量 | 500kg |
| 電源容量 | AC200V (3φ) / 9.8kVA (28A) |
| 所要水量 | 0.2MPa以上（差圧）、0.75㎥/h、20～25℃ ※冷却水入口の最大圧は0.4MPa以下、水質は市水相当 |
| 所要圧空 | 0.5MPa以上、接続口径、8A(Rp3/4) |
オプション
公転ドーム式治具／自公転式治具／加熱機構／ロードロック対応
用途・応用例
金属装飾部品／アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用
