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油回転真空ポンプからドライ真空ポンプへの載せ替え事例(1)

真空ポンプ

お客様のお困りごと

ターボ分子ポンプの補助ポンプとして使用されていた 油回転真空ポンプの排気側ゴム継手が劣化 し、排気ガスが室内に漏れるトラブルが発生。安全性の確保が難しくなり、使用を停止せざるを得ない状況でした。

お客様からは 部品調達の相談 をいただきましたが、使用されていた油回転真空ポンプは 古い型式 であり、メーカーによる 部品の供給やメンテナンスが不可能 という課題を抱えていました。

三弘エマテックの対応

お客様の課題に対し、三弘エマテックは 同等の排気速度を持つ油回転真空ポンプ をご提案するとともに、より効率的な選択肢として ドライ真空ポンプ をご紹介しました。その結果、お客様には ドライ真空ポンプの採用 を決定いただき、長期的なメンテナンスの負担軽減と安定した運用を実現しました。

さらに、お客様は 将来的にターボ分子ポンプの増設を予定 されており、その補助ポンプとしても兼用できるよう、当初の排気速度よりも 大型のドライ真空ポンプ を導入いただきました。これにより、現在の設備の課題解決だけでなく、将来の拡張にも対応できる柔軟な運用が可能となりました。

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